特点:

光源直接成像

  • 1-200nm 平场光谱仪
  • 无狭缝设计提供一流效率: 没有对对准敏感的入射狭缝
  • ~20倍于常规光谱仪的光线收集能力,并成比例的提高信噪比

高精度/高效率

  • 光栅绝对位置监测确保光栅准直
  • 高效率像差校正平场光栅
  • 集成波束分析仪
  • 双杂光滤波片
  • 便捷的软件控制

可定制

  • 每套光谱仪完美匹配客户特殊应用
  • 实验室设备对接接口
  • 特定的设备尺寸
  • 用户自定义过滤器安装件

信号增强样本测试结果,在相同的光源强度下,maxLIGHT (实线)的分辨率明显高于标准光谱仪(虚线)。在相同的分辨率下,标准光谱仪需要加载细小的狭缝,这样会明显降低信号强度。而无狭缝技术能同时提高信号分辨率和强度。(data courtesy of Prof. C. Hauri, Paul Scherrer Inst.)

maxLIGHT高分辨率样品测试结果,该高次谐波信号是由单个飞秒脉冲与固体目标作用后滤波得到的,而谐波产生过程中的内在子结构被XUV光谱仪清晰的记录下来。Plasma Phys. Control. Fusion 53 124021 (2011)

规格参数:

技术 像差校正平场光谱仪和光束分析仪
波长范围 1-200nm
光源距离 灵活定义
探测器 CCD or MCP/CMOS
工作压强 <10-6mbar (UHV 版本可选)
无狭缝技术
入射狭缝 可选
光栅定位 闭环自动定位
光谱滤波插入单元
控制接口 USB or Ethernet
软件 Windows UI and Labview/VB/C/C++ SDK
定制 完全定制
选项 无磁性, 旋转几何, 偏振测定等
SXR XUV VUV
波长范围 1-20nm 5-80nm 40-200nm
色散 0.2-0.4nm/mm 0.5-1.3nm/mm 0.9-1.6nm/mm
分辨率 <0.015nm at 10nm <0.028nm at 40nm <0.05nm at 120nm