IXION 193 SLM是一款单频全固态激光系统，应用于光学计量、193 nm步进光学校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等领域。光谱带宽接近其理论傅里叶极限。
IXION 193 SLM 激光器
该系统的中心波长可定制，范围在185至194 nm之间，并可在订购时配置为固定波长。
另外，系统还可以集成一台绝对光谱精度为0.001 nm的高精度光谱仪。这使得对激光光谱调谐的控制具有最大的精度。
可选
- 图形用户界面
- LabView库
- 精密光谱仪
- 中心波长:185 ~ 194 nm
- 符合CDRH的快门
IXION 193 SLM 应用
- 193 nm 计量
- 光谱仪校准
- 干涉度量
- 准分子激光器种子源
IXION 193 SLM
| 波长 | 193.368 nm |
| 平均功率 | 10 mW |
| 脉宽 | typ.8~2ns |
| 脉冲能量 | 1.6 µJ |
| 重频 | 1~15 kHz |
| 光束质量 | M² < 1.6 |
| 光谱带宽 | < 80 MHz |
| 光谱可调谐性 | > 10 pm |
| 相干长度 | > 2 m |
| 脉冲稳定性 | σ < 2.5 % |
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