IXION 193 SLM 激光器

IXION 193 SLM 激光器

IXION 193 SLM系统是一种单频全固态激光器,用于光学计量、193nm步进光学校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制。其小于80MHz的频谱带宽接近其理论傅里叶极限。

IXION 193 SLM系统是一种单频全固态激光器,用于光学计量、193nm步进光学校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制。其小于80MHz的频谱带宽接近其理论傅里叶极限。

 

该激光器的中心波长可在185至194nm范围内定制,并可在购买时预先配置为固定波长。

 

作为高精度光谱仪的一种选择,系统具有0.001 nm绝对光谱精度。这可以最大限度地控制激光的光谱调谐。

 

IXION 193 SLM 应用

  • 193 nm 计量
  • 光谱仪校准
  • 干涉度量
  • 准分子激光器种子源

IXION 193 SLM

波长193.368 nm
平均功率10 mW
脉冲宽度typ 8-12 ns
单脉冲能量1.6 µJ
重复频率1-15 kHz
光斑质量M² < 1.6
光谱带宽< 80 MHz
光谱可调谐性> 10 pm
相干长度> 2 m
脉冲稳定性σ < 2.5 %

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IXION 193 SLM datasheet

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