外延片

Jenoptik在金属有机化合物化学气相沉积层状结构的外延生长方面具有丰富的经验，并进行严格的质量管控，值得您信赖。

基于外延片生产各类元件。Jenoptik将根据您的设计，提供适用于2英寸、3英寸、4英寸和6英寸晶圆的半导体层状结构。 Jenoptik使用两种不同的的反应器，每次生产8或12个晶片。

以这种方式通过外延生长涂覆的晶片可以用于众多元件和系统中的半导体组件：在当前波长范围为760至1060纳米的高功率二极管激光器中，作为表面发射器（VCSEL和VECSEL）、发光二极管 （RCLEDs和LEDs）或探测器 。

Jenoptik的MOCVD/MOVPE生产过程极为可靠，Jenoptik对其实施密切监控，从而始终确保外延片的稳定的高品质。该工艺已根据国际标准ISO 9001：2008进行认证。

多年来，Jenoptik的工程师和技术人员在不断改进这一工艺。因此，外延片是Jenoptik的专业能力领域之一。

外延片的生产

Jenoptik专注于光电子元件的层结构，这将是您最先进设备的基础

应用举例

• 激光二极管：波长630~1200nm
• 表面发射结 (VCSELs 和 VECSELs)
• 发光二极管 (RCLEDs 和LEDs)
• 肖特基二极管
• 探测器结构
• 严格控制MOCVD/MOVPE的生产过程和质量管控过程

外延片特点

• Al-In-Ga-As-P材料体系层状结构的外延生长
• 高可靠性
• 高质量
• 适用于各种晶圆
• 定制层结构

优点

• 短的开发周期
• 高灵活性
• 开发成本低
• 短的交货期
• 具有竞争力的价格

产品资料下载

https://www.psci.cn/wp-content/uploads/2020/09/epitaxial-services.pdf