特点：
光源直接成像
- 1-200nm 平场光谱仪
- 无狭缝设计提供一流效率: 没有对对准敏感的入射狭缝
- ~20倍于常规光谱仪的光线收集能力，并成比例的提高信噪比
高精度/高效率
- 光栅绝对位置监测确保光栅准直
- 高效率像差校正平场光栅
- 集成波束分析仪
- 双杂光滤波片
- 便捷的软件控制
可定制
- 每套光谱仪完美匹配客户特殊应用
- 实验室设备对接接口
- 特定的设备尺寸
- 用户自定义过滤器安装件
信号增强样本测试结果，在相同的光源强度下，maxLIGHT (实线)的分辨率明显高于标准光谱仪(虚线)。在相同的分辨率下，标准光谱仪需要加载细小的狭缝，这样会明显降低信号强度。而无狭缝技术能同时提高信号分辨率和强度。(data courtesy of Prof. C. Hauri, Paul Scherrer Inst.)
maxLIGHT高分辨率样品测试结果，该高次谐波信号是由单个飞秒脉冲与固体目标作用后滤波得到的，而谐波产生过程中的内在子结构被XUV光谱仪清晰的记录下来。Plasma Phys. Control. Fusion 53 124021 (2011)
规格参数：
| 技术 | 像差校正平场光谱仪和光束分析仪 | ||
|---|---|---|---|
| 波长范围 | 1-200nm | ||
| 光源距离 | 灵活定义 | ||
| 探测器 | CCD or MCP/CMOS | ||
| 工作压强 | <10-6mbar (UHV 版本可选) | ||
| 无狭缝技术 | 是 | ||
| 入射狭缝 | 可选 | ||
| 光栅定位 | 闭环自动定位 | ||
| 光谱滤波插入单元 | 是 | ||
| 控制接口 | USB or Ethernet | ||
| 软件 | Windows UI and Labview/VB/C/C++ SDK | ||
| 定制 | 完全定制 | ||
| 选项 | 无磁性, 旋转几何, 偏振测定等 | ||
| SXR | XUV | VUV | |
| 波长范围 | 1-20nm | 5-80nm | 40-200nm |
| 色散 | 0.2-0.4nm/mm | 0.5-1.3nm/mm | 0.9-1.6nm/mm |
| 分辨率 | <0.015nm at 10nm | <0.028nm at 40nm | <0.05nm at 120nm |