FemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后，根据客户特定激光加工应用调试，包括对任何材料激光切割，激光划片，激光钻孔，3D激光铣削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系统使用Class 1激光安全防护罩，通过单个SCA工程软件窗口控制。
FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制，对不同工业微加工应用，提供优质的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。
产品特点：
- 高加工速度，高达300mm/s
- 加工不同物体亚微米分辨率
- 飞秒加工模式具有最小热影响区
- 直驱亚微米精度位移台
- 使用高性能扫描振镜精细激光束控制
- 点数控制（单点到350KHz）
- 激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步
- 原版软件界面控制所有集成的硬件设备
性能参数：
| 样品特性 | |
| 材料 | 固体材料，液态聚合物 |
| 尺寸（mm） | 150×150×150 |
| 光束成型和控制 | |
| 脉冲选择 | 集成、自动控制 |
| 扫描振镜 | 10m/s扫描速度，5×5 |
| 聚焦 | 高NA非球面镜或物镜，焦长1.45-18.4mm |
| SLM（选配） | 1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式 |
| 位置 | |
| 类型 | XYZ，线性电机，交叉定位，空气轴承（选配） |
| 加工速度 | 350mm/s |
| 工作区域（mm） | 160×160 |
| 分辨率（nm） | 1 |
| 位置精度（nm） | ±300 |
| 重复性（nm） | ±50 |
| 稳定度（nm） | 3 |
| 样品支架 | 真空夹头 |
| 激光参数 | |
| 激光介质 | Yb:KGW |
| 波长 | 1028±5nm |
| 功率（W） | 4（6，8，10选配） |
| 振荡器输出功率（W） | 0.7-1.5 |
| 脉冲能量（mJ） | 1 |
| 重频（KHz） | 200（600,1000选配） |
| 脉宽 | <200fs-10ps（可调）；<80fs（振荡器） |
| 光束质量 | M2<1.2 |
| 输出脉冲稳定性 | <1%RMS |
| 谐波产生器 | |
| 谐波 | 515nm，343nm，258nm，206nm选配 |
| 转换效率（@200KHz） | >50%（SH），>30%（TH）选配，>10%（FH）选配 |
| 软件控制 | |
| 功率控制 | 激光输出，电动衰减器 |
| 位移台控制 | 2.5D微加工，3D XYZ指令 |
| 控制界面 | 算法窗口，虚拟或GUI操纵杆 |
| 图形或矢量格式 | .bmp，.plt |
产品应用：
Glass Spacers
Sapphire cutting 0.325 mm thickness. Top view
Sapphire bulk marking
Tempered glass 0.55 mm thickness, 42 um DOL. Top view
Titan coating selective ablation
Reviews
There are no reviews yet.