EXCITE 系列激光器

EXCITE 系列激光器

EXCITE 系列是新一代的单频激光器,多种波长可选(1064,532,355,266 nm)。光谱带宽小于50MHz,接近其理论带宽的傅里叶极限。

EXCITE 系列是单频全固态激光器系统,用于深紫外领域,如晶片检测,光谱仪校准和干涉测量应用。光谱带宽小于50MHz,接近其理论带宽的傅里叶极限。

 

激光器在其衍射极限下提供了短脉宽,M2<1.6,重复频率1-30kHz。在波长为266nm下平均输出功率超过150mW,在波长为355nm下平均输出功率超过400mW。 在坚固的工业设计中具有稳定的脉冲轨迹和超过3.0m的相干长度

 

EXCITE Series 应用

  • 晶圆检测
  • 光致发光
  • 干涉测量法
  • 拉曼光谱
  • 全息术
  • 光谱仪校准
  • 计量
  • 直接干涉光刻技术

 

EXCITE 266 参数

波长 266 nm
光谱宽度 < 60 MHz
相干长度 > 2.5 m
平均功率 > 150 mW
脉冲宽度 10-15 ns
单脉冲能量 > 12.5 µJ
重复频率 1 – 30 kHz
< 1.7
脉冲稳定性 σ < 1.5%

 

EXCITE 355 参数

波长 355 nm
光谱宽度 < 50 MHz
相干长度 > 3 m
平均功率 > 500 mW
脉冲宽度 14-18 ns
单脉冲能量 > 40 µJ
重复频率 1 – 30 kHz
< 1.3
脉冲稳定性 σ < 1.0%

 

EXCITE 532 参数

波长 532 nm
平均功率 2.5 W
脉冲宽度 15-20 ns
单脉冲能量 160 µJ
重复频率 1 – 30 kHz
< 1.2
光谱宽度 < 50 MHz
相干长度 > 3 m
脉冲稳定性 σ < 0.8 %

 

EXCITE 1064 参数

波长 1064 nm
平均功率 6 W
脉冲宽度 20-30 ns
单脉冲能量 400 µJ
重复频率 1 – 30 kHz
< 1.2
光谱宽度 < 30 MHz
相干长度 > 5 m
脉冲稳定性 σ < 0.3 %

 

EXCITE 系列资料下载

EXCITE Datasheet

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