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IMPRESS系列 深紫外调Q激光器
 


 


IMPRESS系列是一款高重频二极管泵浦调Q深紫外激光器,可以输出波长213nm224nmTEMoo模激光器可以作为光学度量和微处理,比如:半导体加工和显示修复。其短波长等属性也使得这款激光器可以应用于光学直写。该激光器可提供<9ns的超短脉冲,光束质量M21.6。通过RS232可实现电脑控制,也兼容其他触发控制。

 

应用领域:

· 光纤布拉格光栅制作

· 波长敏感处理

· 立体光刻

· 显示修复

· 微处理

· 半导体观察

· 替代了Ar-Ion的倍频激光器

· 激光激发测量

产品特点:

· 深紫外超短脉冲

· 二极管泵浦

· 槽安装激光二极管

· 光学特性好

· 高脉冲功率

· 价格低

· 绿色光子学

· 724小时工作


产品参数:

型号

IMPRESS 213

IMPRESS 224

波长,nm

213

224

平均功率,mW

150

300

脉冲宽度,ns

7ns

9ns

单脉冲能量,μJ

15μJ

30μJ

重复频率,kHz

0.1-30kHz

0.1-30kHz

M2

1.6

1.6

所有的数据都是在重频为15kHz的情况下测量获得。

 

系统尺寸(L×W× H),重量:

IMPRESS 213

激光头

239×263×72mm3

17.8kg

电源

446×440×134mm3

14.8kg

冷却装置

446×440×134mm3

12.0kg

IMPRESS 224

激光头

507×286×77mm3

12.2kg

电源

446×440×134mm3

16.8kg

冷却装置

446×440×134mm3

18.5kg

 

电源:

工作电压

85-264VAC

频率

47-63Hz

功率消耗

300W213),350W224

 

    

 

213nm激光器特性曲线&激光器光斑


 

 

224nm激光器特性曲线&激光器光斑

 

 

 
 
 
 
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