Pinnacle Scientific (China) Limited 应用文章 -

1.产品概述

顶尖科仪作为德国Xiton Photonics公司的中国区域代理商，为中国市场提供IXION-193系列深紫外激光器。IXION 193 SLM是⼀款单频全固态激光系统，专为光学计量、193nm步进光刻机光学系统校准和⾼功率ArF准分⼦激光器带宽控制等应⽤设计。该产品代表了当前193nm激光技术的最⾼⽔平，为中国半导体制造、精密光学和科研院所提供世界领先的深紫外激光解决⽅案。

2.核⼼技术优势

2.1 全固态激光技术突破

技术⾰新： Xiton Photonics专精于⼆极管泵浦固体激光器结合⾮线性光学技术，可在185nm深紫外到5µm中红外范围内开发制造任意波长的可靠激光系统。IXION-193激光器采⽤先进的⾮线性频率转换技术，实现了传统准分⼦激光器⽆法达到的稳定性和精度。

性能指标：

中⼼波长：193.368nm（可在185~194nm范围内定制，精度±0.001nm）
光谱带宽：接近理论傅⾥叶极限
光束质量：TEM00模式
单脉冲能量：1.6µJ
重复频率：可调
功率稳定性：<1%
波长稳定性：±0.001nm

2.2 与传统ArF准分⼦激光器对⽐

技术参数	Xiton IXION-193	传统ArF准分⼦激光器
激光介质	全固态晶体	⽓体放电
维护成本	极低	⾼（需定期更换⽓体）
光束质量	TEM00⾼斯光束	多模光束
功率稳定性	<1%	3~5%
使⽤寿命	>10年	2~3年
启动时间	瞬时	需预热30分钟
环境要求	标准实验室	特殊⽓体处理

3.主要应⽤领域

3.1 半导体制造与光刻技术

193nm光刻系统校准：

步进光刻机精度校准：为ASML、Nikon等品牌光刻设备提供标准光源
投影透镜系统测试：评估193nm波长下的光学系统性能
掩模版质量检测：⾼精度掩模版缺陷检测和测量
光刻胶曝光特性研究：优化光刻胶配⽅和⼯艺参数

技术优势： 使⽤Xiton 193nm激光器进⾏光刻系统校准，相⽐传统准分⼦激光器具有更⾼的功率稳定性和波长精度，能够显著提⾼光刻⼯艺的重现性和良品率。

3.2 精密光学计量

⼲涉计量应⽤：

超精密位移测量：纳⽶级位移和振动检测
光学元件⾯形检测：反射镜、透镜表⾯质量评估
折射率精密测量：光学材料特性表征
波长标准校准：计量机构波长基准建⽴

应⽤案例： 国内某精密光学制造企业使⽤IXION-193进⾏超精密反射镜⾯形检测，测量精度达到λ/100（约2nm），为航空航天和激光核聚变项⽬提供了关键的光学元件质量保证。

3.3 材料科学研究

深紫外光谱学：

材料能带结构研究：半导体材料光学特性分析
表⾯等离⼦体共振：纳⽶材料光学响应研究
光化学反应机理：深紫外光驱动的化学过程研究
薄膜材料表征：透明导电膜、防反射膜性能测试

⽣物医学光⼦学：

蛋⽩质结构分析：蛋⽩质构象变化的紫外光谱检测
DNA/RNA分析：核酸分⼦的紫外吸收特性研究
细胞光损伤机理：紫外光对⽣物组织的作⽤机制研究

3.4 准分⼦激光器种⼦光源

注⼊锁定技术：

ArF准分⼦激光器带宽压缩：将激光线宽从300pm压缩⾄<10pm
功率放⼤：种⼦光注⼊实现⾼功率输出
光束质量改善：提升准分⼦激光器的空间模式质量
频率稳定性增强：长期波长稳定性提升100

4.技术解决⽅案

4.1 系统集成⽅案

光学平台集成：

标准光学导轨兼容设计
精密⾓度和位置调节机构
光功率监测和反馈控制
安全联锁和激光防护系统

⾃动化控制：

LabVIEW/MATLAB软件接⼝
RS232/USB通信协议
远程监控和诊断功能
数据采集和分析软件包

4.2 定制化服务

参数定制：

中⼼波长微调（185~194nm）
脉冲能量优化（0.1~5µJ）
重复频率配置（1~15kHz）
光束直径和发散⾓调整

系统集成：

OEM模块化设计
客户系统接⼝适配
专⽤控制软件开发
现场安装调试服务

5.⾏业应⽤案例

案例⼀：顶级半导体制造企业

项⽬背景： 某国际知名半导体制造商需要对其28nm制程光刻设备进⾏精密校准，要求193nm激光光源具有极⾼的波长稳定性和功率⼀致性。

解决⽅案：

产品配置：IXION-193-SLM + 精密光功率计 + ⾃动化控制系统
技术指标：波长精度±0.001nm，功率稳定性<0.5%
集成⽅案：与现有光刻设备完全兼容

实施效果：

光刻精度提升15%
设备校准时间缩短50%
年节约维护成本300万元
产品良品率提升⾄99.8%

案例⼆：国家级计量科学研究院

项⽬背景： 建⽴193nm波长国家基准，为全国相关设备提供溯源标准。

解决⽅案：

核⼼设备：IXION-193-SLM⾼精度激光器
辅助系统：波长计、功率计、光谱仪校准装置
环境控制：恒温恒湿实验室环境

技术成果：

建⽴了193nm波长国家基准
测量不确定度达到国际先进⽔平
为国内半导体产业提供计量⽀撑
获得CNAS国际互认资质

案例三：科研院所材料研究

项⽬背景： 研究新型光刻胶材料在193nm波长下的光学特性和曝光机理。

解决⽅案：

激光光源：IXION-193纳秒脉冲激光器
检测系统：透射/反射光谱测量装置
数据分析：专⽤光学参数提取软件

科研成果：

发现新型光刻胶分⼦设计原理
在国际顶级期刊发表论⽂8篇
申请发明专利12项
推动了国产光刻胶技术进步

6.市场竞争优势

6.1 技术领先性

核⼼专利技术：

深紫外⾮线性频率转换技术
单频激光器腔内倍频技术
温度补偿波长稳定技术
紧凑型激光器结构设计

国际认证：

CE认证（欧盟安全标准）
FDA激光安全认证
ISO 9001质量管理体系
德国⼯业4.0标准制造

6.2 服务优势

顶尖科仪本地化服务：

技术⽀持：资深激光技术专家团队
快速响应：24⼩时内技术咨询回复
现货供应：北京、上海、深圳设有库存中⼼
培训服务：免费操作培训和应⽤指导

增值服务：

应⽤开发：免费应⽤⽅案设计和验证
系统集成：提供完整的光学测量解决⽅案
维护保养：专业维护团队和原⼚配件供应
技术升级：持续的技术改进和软件更新

7.产品型号与配置

7.1 标准产品系列

IXION-193-SLM（单频版）：

应⽤：精密计量、光谱校准
特点：超窄线宽、极⾼频率稳定性
价格：具有显著性价⽐优势

IXION-193-QS（调Q版）：

应⽤：材料加⼯、光化学研究
特点：⾼峰值功率、可调重复频率
能量：1µJ标准配置，可定制更⾼能量

7.2 配套产品

光学配件：

精密衰减器组件
光束整形透镜系统
偏振控制元件
光功率监测探头

控制系统：

专⽤激光控制器
温度稳定系统
安全联锁装置
数据采集软件

8.投资回报分析

8.1 成本效益对⽐

设备投资对⽐：

初期投资：⽐进⼝同类产品节省30~40%
运营成本：全固态设计，⼏乎⽆耗材成本
维护费⽤：年维护成本<传统设备的10%
使⽤寿命：>10年，远超⽓体激光器

效率提升：

测量精度：⽐传统⽅法提⾼10~100倍
测量速度：秒级快速测量，提⾼⼯作效率
⾃动化程度：减少⼈⼯操作，降低⼈为误差
数据可靠性：长期稳定运⾏，数据重现性好

8.2 ⾏业价值创造

半导体制造业：

提升光刻⼯艺精度和稳定性
减少废品率，提⾼⽣产良品率
加速新⼯艺开发和验证
降低设备校准和维护成本

科研机构：

提供国际先进的研究⼯具
⽀持前沿科学研究项⽬
增强国际科研竞争⼒
培养⾼端激光技术⼈才

9.技术⽀持与服务

9.1 专业技术团队

顶尖科仪技术优势：

资深⼯程师：10年以上激光技术经验
德国培训：Xiton原⼚技术认证
本地服务：国内技术安装和维修
快速响应：24⼩时技术热线服务

应⽤⽀持：

免费应⽤⽅案设计
现场演⽰和测试服务
定制化软件开发
长期技术咨询服务

9.2 售后保障

质量承诺：

2年整机质量保修
激光器核⼼器件5年保修
终⾝技术⽀持服务
原⼚配件长期供应保障

维护服务：

定期巡检和预防性维护
快速故障诊断和修复
备⽤设备租赁服务
操作⼈员培训认证

10.采购与咨询

10.1 产品选型指导

按应⽤需求选择：

应⽤领域	推荐配置	关键规格	预算范围
半导体光刻	IXION-193-SLM + 精密控制系统	超⾼稳定性	⾼端配置
光学计量	IXION-193-SLM + ⼲涉仪配件	单频输出	标准配置
材料研究	IXION-193-QS + 光谱检测系统	可调脉冲	科研配置
准分⼦种⼦	IXION-193-SLM + 注⼊锁定模块	窄线宽	⼯业配置