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准分子激光器

Pulse Master®高功率准分子激光器

  • TMCTM (全金属陶瓷封装Total Metal Ceramic)保证长的气体寿命
  • 波长覆盖几乎所有准分子激光波长
  • 宽的重复频率和平均功率范围
  • 卓越的光束质量
    PulseMaster 高功率或高能量型准分子激光器波长在193、248、308 、351 nm。该激光器具有高的光束均匀性、高的能量稳定性、极好地光束指向稳定性，各激光参数可进行精密控制。
    全金属陶瓷封装的结构保证长的气体寿命和低的运行成本。强大的微处理系统控制激光器稳定输出和日常操作。
    其应用包括：DWDM应用的布拉格光纤光栅的刻写，电路板修复，坚硬材料如金属、陶瓷的微加工，薄的金属膜层的图案刻画，医用塑料如聚亚安酯输尿管的加工。
   
PulseMaster 系列激光器型号参数说明：
  参数

840 系列

880 系列

ArF

KrF

XeCl

XeF

 

ArF

KrF

XeCl

XeF

  波长(nm)

193

248

308

351

 

193

248

308

351

  脉冲能量(mJ)

230

450

300

275

 

400

850

600

500

  平均功率(W)

PM-848

80

30

50

45

PM-888

18

70

50

40

PM-846

15

40

25

22

PM-886

15

35

25

20

PM-844

6

20

12

11

PM-884

6

14

10

8

PM-842

3

10

6

6

PM-882

3

7

5

4

  重复频率(Hz)

PM-848

200

200

200

200

PM-888

60

100

100

100

PM-846

100

100

100

100

PM-886

50

50

50

50

PM-844

40

50

50

50

PM-884

20

20

20

20

PM-842

20

30

30

30

PM-882

10

10

10

10

  脉冲宽度(ns)

12 - 20

14 - 26

  光束尺寸(mm)

8 - 12 x 25

12 - 17 x 29

  发散角(mrad)

1 x 3

1.5 x 3.5
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